Wooptix, experto en metrologĂa de semiconductores, presenta sus Ășltimos datos sobre WFPI (Wave Front Phase Imaging) en California, el prĂłximo 30 de enero. Con el tĂtulo, âEstudio de repetibilidad de medidas de forma en oblea de silicioâ, la exposiciĂłn tendrĂĄ lugar en Moscone Center de San Francisco, a las 2.10 pm, dentro de la sala 312 (Level 3 South).
La presentaciĂłn tendrĂĄ lugar durante SPIE Photonics West, anunciado como “el evento lĂder mundial en lĂĄseres, Ăłptica biomĂ©dica y tecnologĂas biofotĂłnicas, cuĂĄnticas y optoelectrĂłnicas”.
En cuanto a la presentaciĂłn de Wooptix, Jan Olaf, VP Business Development de la empresa, afirma: “Presentamos WFPI como una nueva tĂ©cnica con alta resoluciĂłn y un alto recuento de datos adquiridos a muy alta velocidad utilizando un sistema donde la oblea estĂĄ libre de los efectos de la gravedad y con una repetibilidad muy alta medida segĂșn los estĂĄndares Semi M49”.
Wave Front Phase Imaging (WFPI)
Wooptix presenta Wave Front Phase Imaging (WFPI), una nueva tĂ©cnica de geometrĂa de oblea que adquiere 16,3 millones de puntos de datos en 12 segundos en una oblea completa de 300 mm, proporcionando una resoluciĂłn lateral de 65 ÎŒm mientras se mantiene la oblea verticalmente.
Hay que tener en cuenta que para que un sistema de forma de oblea funcione en un entorno de fabricaciĂłn de gran volumen, la repetibilidad es una medida crĂtica que debe probarse. âLos procesos avanzados de creaciĂłn de patrones litogrĂĄficos requieren un mapa detallado de la forma libre y no gravitacional de la oblea, para evitar errores de superposiciĂłn causados ââpor problemas de profundidad de enfoqueâ, continĂșa Jan Olaf.
âLa planitud de las obleas de silicio utilizadas para fabricar circuitos integrados (CI) se controla con tolerancias estrictas para ayudar a garantizar que toda la oblea sea lo suficientemente plana para el procesamiento litogrĂĄficoâ, finaliza.Â
SPIE Photonics West
Dentro de SPIE Photonics, se podrĂĄn encontrar las siguientes tecnologĂas destacadas: LĂĄseres y perifĂ©ricos, componentes de acondicionamiento de haz y direcciĂłn, instrumentaciĂłn de mediciĂłn y perfilado de haces, cĂĄmaras y componentes CCD, componentes, equipos y sistemas de fibra Ăłptica, componentes Ăłpticos y hardware, comunicaciones Ăłpticas, detectores Ăłpticos, imĂĄgenes y sensores de alta velocidad, materiales y sustratos Ăłpticos, fuentes y detectores de infrarrojos, componentes electrĂłnicos de imĂĄgenes, recubrimientos Ăłpticos, lentes y filtros, sistemas de posicionamiento y soportes, equipos de metrologĂa y pruebas, software para diseño y simulaciĂłn.
SPIE Photonics West tendrĂĄ lugar en Moscone Center, San Francisco. Si estĂĄ interesado en adquirir una entrada puede hacerlo pulsando AquĂ.
Acerca de Wooptix
Wooptix es lĂder en metrologĂa de semiconductores mediante imĂĄgenes de fase de frente de onda, una tĂ©cnica derivada de la investigaciĂłn de Ăłptica adaptativa en astronomĂa. Con un equipo multidisciplinar, Wooptix tiene como objetivo revolucionar la industria de la metrologĂa de semiconductores con la resoluciĂłn lateral mĂĄs alta y la tĂ©cnica de mediciĂłn mĂĄs rĂĄpida para mediciones en fĂĄbricas en lĂnea.
La compañĂa ha desarrollado PhemetÂź, una herramienta de mediciĂłn de obleas de silicio, que es la versiĂłn previa a la siguiente herramienta de fabricaciĂłn totalmente automatizada, que se espera para 2024. Wooptix ya ha implementado PhemetÂź en varios sitios de clientes en todo el mundo.
Wooptix tiene su sede en Tenerife, Madrid (España) y San Francisco (EE.UU.).
Para mĂĄs informaciĂłn, contactar con Laila Quiles Blanco, Marketing Manager, al correo laila.quiles@wooptix.com.